LEAP 5000 XS

Le LEAP® 5000 XS est une sonde atomique optimisée pour l'analyse de matériaux semi-conducteurs, avec un haut rendement de détection.

Sa géométrie permettant un chemin direct entre les ions évaporés et le détecteur lui confère un haut rendement de détection ainsi qu'une grande rapidité d'analyse.

L'utilisation d'une électrode locale permet l'analyse de réseaux de pointes préparées par FIB.

Instrument: LEAP® 5000 XS - Fabriquant: CAMECA

Caractéristiques : 

• Résolution spatiale : 0.1 à 3 nm3
• Résolution en masse : m/Dm ≈ de 400 à 800 à mi hauteur
• Fréquence d’acquisition:  jusqu’à 1MHz
• Vitesse d’acquisition: jusqu’à 150 000 ions/s
• Angle physique de détection:  ± 35°
• Rendement de détection:  ≈ 80%
• Sensibilité :   < 10 ppmat
• Système de détection : DLD
• Logiciels : IVAS 3.8.16 et GPMSoft 3D