La sonde atomique tomographique est une technique d’imagerie et d’analyse chimique tridimensionnelle à l’échelle subnanométrique. Elle permet de reconstruire en 3D, atome par atome, des éléments de volume de l’ordre de 100x100x500 nm3 à partir d’échantillons préparés sous forme de pointes.
Elle repose sur l’utilisation de l’évaporation par effet de champ des atomes de l’échantillon, qui sont collectés sur un détecteur à localisation spatiale qui permet de déterminer leur position et leur nature chimique par spectrométrie de masse à temps de vol.
Le volume est ensuite reconstitué dans une station graphique, ce qui permet de le caractériser chimiquement et structuralement à l’échelle sub nanométrique.
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