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2016
- Accuracy of analyses of microelectronics nanostructures in atom probe tomography
F. Vurpillot, N Rolland, R Estivill, S Duguay, D Blavette
Semicond. Sci. Technol., 2016. 31: p074002
https://doi.org/10.1088/0268-1242/31/7/074002